Especificação:
1. câmara de vidro de quartzo com entradas de gás integrado e tomada
2. Aquecimento: com lâmpadas de infravermelho, potência total: 21 kW
3. calor superior e inferior
bandeja de vidro de quartzo na câmara de processo: Sistema 4. Carregando
5. Área de Carga: até o tamanho wafer 156 milímetros
6. Controlador: controlador de processo de temperatura rápido PID
7. 50 programas com cada 50 passos armazenável
8. controlador SPS, SIMATIC
9. 7 "Touch Panel para a programação confortável e controle de processo
10. vácuo até 10exp.-3 hPa (para vácuo até 10exp.-6 hPa ver modelo RTP-150-HV)
11. Max. Temperatura: 1000 ° C (superior a pedido)
12. rampa até Classificação: programação livre, max. 75 ° K / seg
13. Rampa taxa para baixo: T = 1000 ° C até 400 ° C max. 200 K / min
14. T = 400 ° C até 100 ° C máx. 30 K / min.
15. Electricidade: CEE 3x32 A, 230 V, 3 fases, + N, 21 kW
16. Cooling: Refrigerar de água necessária
17. Dimensões: 505 x 504 x 550 mm (LxAxP)
18. Peso: aprox. 65 kg
【Marca: UNITEMP / ALEMÃO】