Specificatie:
1. Quartz glazen kamer met geïntegreerde gas in- en uitlaat
2. Verwarming: met infrarood lampen, totaal vermogen: 21 kW
3. boven en onder verwarming
4. Laden systeem: kwartsglas dienblad in de proceskamer
5. Laden: tot 156 mm wafer formaat
6. Controller: fast PID temperatuur proces controller
7. 50 programma's met elk 50 stappen kan worden opgeslagen
8. SPS controller, SIMATIC
9. 7 "Touch Panel voor een comfortabele programmering en procesbesturing
10. Vacuüm tot 10exp.-3 hPa (voor Vacuum maximaal 10exp.-6 hPa zie model RTP-150-HV)
11. Max. Temperatuur: 1000 ° C (hoger op aanvraag)
12. Ramp up rate: vrij programmeerbaar, max. 75 ° K / sec
13. Ramp naar beneden tarief: T = 1000 ° C tot 400 ° C max. 200 K / min
14. T = 400 ° C tot 100 ° C max. 30 K / min.
15. Elektriciteit: CEE 3x32 A, 230 V, 3 fase, + N, 21 kW
16. Koeling: Waterkoeling nodig
17. Afmetingen: 505 x 504 x 550 mm (BxHxD)
18. Gewicht: ca.. 65 kg
【Merk: UNITEMP / Duits】