Specifica:
1. Camera di vetro al quarzo con in- gas integrato e uscita
2. Riscaldamento: con infrarossi lampade, potenza totale: 21 kW
3. riscaldamento superiore e inferiore
vassoio di vetro di quarzo nella camera di processo: sistema 4. Caricamento
5. Caricamento zona: fino a 156 mm Larghezza del wafer
6. Controller: controllore di processo di temperatura veloce PID
7. 50 programmi con ogni 50 passi memorizzabili
8. controllore SPS, SIMATIC
9. 7 pannello "Touch per la programmazione confortevole e il controllo di processo
10. vuoto fino a 10exp.-3 hPa (per vuoto fino a 10exp.-6 hPa vedi modello RTP-150-HV)
11. Max. Temperatura: 1000 ° C (superiore a richiesta)
12. Rampa fino rate: liberamente programmabile, max. 75 ° K / sec
13. Rampa tasso giù: T = 1000 ° C fino a 400 ° C max. 200 K / min
14. T = 400 ° C fino a 100 ° C max. 30 K / min.
15. Elettricità: CEE 3x32 A, 230 V, 3 fasi, + N, 21 kW
16. Raffreddamento: Raffreddamento ad acqua necessaria
17. Dimensioni: 505 x 504 x 550 mm (LxAxP)
18. Peso: circa. 65 kg
【Marca: UNITEMP / TEDESCO】