Spécification:
1. chambre de verre de quartz avec in- intégrée de gaz et de sortie
2. Chauffage: avec des lampes infrarouges, puissance totale: 21 kW
3. haut et chauffage du fond
4. Chargement du système: plateau en verre de quartz dans la chambre de traitement
5. Chargement zone: jusqu'à 156 mm taille de plaquette
6. Controller: contrôleur de processus de température PID rapide
7. 50 programmes avec chacun 50 étapes stockable
8. contrôleur SPS, SIMATIC
9. 7 "écran tactile pour la programmation confortable et le contrôle des processus
10. Vacuum jusqu'à 10exp.-3 hPa (pour Vacuum jusqu'à 10exp.-6 hPa voir modèle RTP-150-HV)
11. Max. Température: 1000 ° C (plus élevé sur demande)
12. Montée en débit: programmable gratuit, max. 75 ° K / s
13. Taux de rampe vers le bas: T = 1000 ° C jusqu'à 400 ° C max. 200 K / min
14. T = 400 ° C à 100 ° C max. 30 K / min.
15. Électricité: CEE 3x32 A, 230 V, 3 phases, + N, 21 kW
16. Refroidissement: refroidissement par eau nécessaire
17. Dimensions: 505 x 504 x 550 mm (LxHxP)
18. Poids: env. 65 kg
【Marque: Unitemp / ALLEMAND】