Especificación:
1. cámara de vidrio de cuarzo con entradas integrado de gas y la salida
2. Calefacción: de lámparas de infrarrojos, potencia total: 21 kW
3. calor superior e inferior
bandeja de cristal de cuarzo en la cámara de proceso: 4. Sistema de Carga
5. Zona de carga: hasta 156 mm de tamaño de la oblea
6. Controlador: Controlador de temperatura PID proceso rápido
7. 50 programas con 50 pasos cada almacenable
8. controlador de SPS, SIMATIC
9. 7 "panel táctil para la programación cómoda y control de procesos
10. vacío hasta 10exp.-3 hPa (por vacío hasta 10exp.-6 hPa ver modelo RTP-150-HV)
11. Max. Temperatura: 1000 ° C (superior a petición)
12. Rampa arriba tasa: programable gratuito, max. 75 ° K / sec
13. tasa de deceleración: T = 1000 ° C hasta 400 ° C máx. 200 K / min
14. T = 400 ° C hasta 100 ° C max. 30 K / min.
15. Electricidad: CEE 3x32 A, 230 V, 3 fases, + N, 21 kW
16. refrigeración: Refrigeración por agua necesaria
17. Dimensiones: 505 x 504 x 550 mm (An)
18. Peso: aprox. 65 kg
【Marca: Unitemp / GERMAN】