Spesifikasi:
1. ruang kaca kuarsa dengan di- gas terpadu dan stopkontak
2. Pemanasan: dengan Infrared Lamps, total daya: 21 kW
3. atas dan pemanas bawah
4. Memuat system: tray kaca kuarsa dalam ruang proses
5. Memuat area: hingga ukuran wafer 156 mm
6. Controller: PID cepat proses pengontrol suhu
7. 50 program dengan masing-masing 50 langkah storable
8. SPS controller, SIMATIC
9. 7 "Touch Panel untuk pemrograman nyaman dan pengendalian proses
10. Vacuum hingga 10exp.-3 hPa (untuk Vacuum hingga 10exp.-6 hPa melihat model RTP-150-HV)
11. Max. Suhu: 1000 ° C (lebih tinggi atas permintaan)
12. Ramp up rate: diprogram gratis, max. 75 ° K / sec
13. Ramp tingkat bawah: T = 1000 ° C sampai 400 ° C max. 200 K / min
14. T = 400 ° C hingga 100 ° C max. 30 K / min.
15. Listrik: CEE 3x32 A, 230 V, 3 Phase, + N, 21 kW
16. Pendinginan: pendinginan Air diperlukan
17. Dimensi: 505 x 504 x 550 mm (PxLxT)
18. Berat: approx. 65 kg
【Merek: UNITEMP / GERMAN】