Özellikler:
100 mm (4 ") ya da 100 mm x 100 mm Alt tabaka boyutuna, tek gofret kadar 1.
kapaklı 2. kolay değiştirilebilir kuvars cam işlem odası
Entegre gaz giriş ve çıkışı ile 3.
4. Azot için 1 Kütle Akış Kontrol (5 nlm = dakikada norm litre) varsayılan
5. 18 Kızılötesi lambalar ile ısıtılan (20 kW)
6. Üst ve alt ısıtma
): Dış pompa sistemi (RTP-100-HV bkz 10exp-3'e kadar mbar, mbar-6 10exp kadar için) 7. vakum
8. SPS kontrolör SIMATIC
9. Ethernet arayüzü
Kolay programlama ve proses kontrolü için 10. 7 "Dokunmatik panel
11. max. sıcaklığı 1200 ° C
termokupl tarafından 12. sıcaklık kontrolü
13. Su soğutma gereklidir
14. Elektrik: CEE 3x32 A, 230 V, 3 faz + N, 20 Kw
15. Soğutma: Su soğutma gereklidir
16. Boyut: 503 x 525 x 570 mm (G x D x Y)
17. Ağırlık: 70 kg
【Marka: ALMAN UNITEMP /】