Especificación:
1. sola oblea de hasta 100 mm (4 ") o 100 mm x 100 mm Tamaño del sustrato
2. cambiable fácil cámara de proceso de cristal de cuarzo con tapa
3. con entradas integrado de gas y la salida
4. 1 controlador de flujo másico de nitrógeno (5 NLM = litros por minuto norma) es por defecto
5. calentado por 18 lámparas de infrarrojos (20 kW)
6. calor superior e inferior
7. vacío para el sistema de bomba externa (hasta 10exp-3 mbar, durante un máximo de 10exp-6 mbar: ver RTP-100-HV))
8. controlador de SPS, SIMATIC
9. Interfaz Ethernet
10. 7 "Panel táctil para una fácil programación y control de procesos
11. max. temperatura de 1200 ° C
12. control de temperatura por termopar
13. refrigeración de agua necesaria
14. Electricidad: CEE 3x32 A, 230 V, 3 fases, + N, 20 Kw
15. refrigeración: Refrigeración por agua necesaria
16. Dimensiones: 503 x 525 x 570 mm (W x D x H)
17. Peso: 70 kg
【Marca: Unitemp / GERMAN】