Spécification:
1. pour plaquette unique jusqu'à 100 mm (4 ") ou 100 mm x 100 mm taille du substrat
2. chambre de traitement de verre de quartz facile modifiable avec couvercle
3. avec in- intégrée de gaz et de sortie
4. 1 Régulateur de débit massique pour l'azote (5 nlm = norme litre par minute) est par défaut
5. chauffé par des lampes à infrarouge 18 (20 kW)
6. top et le chauffage de fond
7. vide pour le système de pompe externe (jusqu'à 10exp-3 mbar, jusqu'à 10exp-6 mbar: voir RTP-100-HV))
8. contrôleur SPS, SIMATIC
9. Interface Ethernet
10. 7 "écran tactile pour la programmation facile et le contrôle des processus
11. max. température de 1200 ° C
12. Contrôle de la température par thermocouple
refroidissement 13. de l'eau nécessaire
14. Électricité: CEE 3x32 A, 230 V, 3 phases, + N, 20 Kw
15. Refroidissement: refroidissement par eau nécessaire
16. Dimension: 503 x 525 x 570 mm (L x P x H)
17. Poids: 70 kg
【Marque: Unitemp / ALLEMAND】