विशिष्टता:
1. 100 मिमी (4 ") या 100 मिमी x 100 मिमी आकार सब्सट्रेट करने के लिए एकल वेफर अप के लिए
2. कवर के साथ आसान अस्थिर क्वार्ट्ज गिलास प्रक्रिया चैम्बर
3. एकीकृत गैस में और आउटलेट के साथ
4. नाइट्रोजन के लिए 1 जन प्रवाह नियंत्रक (5 एनएलएम = प्रति मिनट के आदर्श लीटर) डिफ़ॉल्ट है
5. 18 इन्फ्रारेड लैंप से गर्म (20 किलोवाट)
6. ऊपर और नीचे हीटिंग
): 7. बाहरी पंप प्रणाली (देखें आरटीपी-100-एचवी 10exp-3 तक मिलीबार, के लिए साइन अप 10exp-6 के लिए मिलीबार) के लिए वैक्यूम
8. एसपीएस नियंत्रक, SIMATIC
9. ईथरनेट इंटरफेस
10 7 "आसान प्रोग्रामिंग और प्रक्रिया नियंत्रण के लिए टच पैनल
11. मैक्स। तापमान 1200 डिग्री सेल्सियस
thermocouple द्वारा 12. तापमान नियंत्रण
13. पानी ठंडा करने की आवश्यकता
14. बिजली: सीईई 3x32 ए, 230 वी, 3 चरण, + N, 20 किलोवाट
15. शीतलक: पानी ठंडा करने की आवश्यकता
16. आयाम: 503 x 525 x 570 मिमी (डब्ल्यू एक्स डी एक्स एच)
17. वजन: 70 किलो
【ब्रांड: UNITEMP / जर्मन】