Спецификация:
1. для одной пластины до 100 мм (4 ") или 100 мм размером подложки х 100 мм
2. легко заменяемый камера процесса из кварцевого стекла с покрытием
3. со встроенным газовым входом и выходом
4. 1 Массовый регулятор расхода для азота (5 NLM = норма литр в минуту) по умолчанию
5. отапливается 18 инфракрасных ламп (20 кВт)
6. верхний и нижний нагрев
7. вакуум для внешней насосной системы (до 10exp-3 мбар, до 10exp-6 мбар: см RTP-100-HV))
8. SPS контроллер SIMATIC
9. Интерфейс Ethernet
10. 7 "сенсорная панель для легкого программирования и управления технологическими процессами
11. Макс. температура 1200 ° C
12. Регулирование температуры с помощью термопары
требуется охлаждение воды 13.
14. Электричество: CEE 3x32 A, 230 В, 3 фазы, + N, 20 кВт
требуется водяное охлаждение: 15. Охлаждение
16. Размер: 503 х 525 х 570 мм (Ш х Г х В)
17. Вес: 70 кг
【Марка: Unitemp / НЕМЕЦКИЙ】