Спецификация:
1. для одной пластины до 100 мм (4 ") или 100 мм размером подложки х 100 мм
2. со встроенным газовым входом и выходом
3. 1 Массовый регулятор расхода для азота (5 NLM = норма литр в минуту) по умолчанию
4. отапливается 18 инфракрасных ламп (20 кВт)
5. вакуум до 10exp-6 гПа (Турбомолекулярный насос и вакуумный измерения включены, не вкл. Грубый насос)
6. Макс. температура 1200 ° C
7. Регулирование температуры с помощью термопары
требуется охлаждение воды 8.
9. Электричество: CEE 3x32 A, 230 В, 3 фазы, + N, 20 кВт
10. Размер: 505 х 504 х 670 мм (Ш х В х Г)
11. Вес: прибл. 70 кг
12. Хорошее обслуживание
13. Пожалуйста, напишите нам для получения более подробной информации
14. Подходит для лабораторных и научно-исследовательского отдела
【Марка: Unitemp / НЕМЕЦКИЙ】