Specifica:
1. per singolo wafer di fino a 100 mm (4 ") o il 100 mm Larghezza del substrato x 100 mm
2. con in- gas integrato e uscita
3. 1 Mass Flow Controller per azoto (5 nlm = norma litri al minuto) è di default
4. riscaldata da 18 lampade a raggi infrarossi (20 kW)
5. vuoto fino a 10exp-6 hPa (misurazione pompa e vuoto di tipo turbomolecolare inclusa, escl. Pompa ruvida)
6. Max. temperatura di 1200 ° C
7. controllo della temperatura per termocoppia
8. raffreddamento acqua necessaria
9. L'elettricità: CEE 3x32 A, 230 V, 3 fasi, + N, 20 kW
10. Dimensioni: 505 x 504 x 670 millimetri (L x H x D)
11. Peso: circa. 70 kg
12. Un buon servizio
13. Si prega di mail per ulteriori dettagli
14. Adatto per laboratorio e di ricerca reparto
【Marca: UNITEMP / TEDESCO】