Spesifikasi:
1. untuk wafer tunggal hingga 100 mm (4 ") atau 100 mm x 100 mm ukuran substrat
2. dengan di- gas terpadu dan stopkontak
3. 1 Mass Flow Controller untuk Nitrogen (5 NLM = norma liter per menit) adalah standar
4. dipanaskan oleh 18 lampu Infrared (20 kW)
5. vakum hingga 10exp-6 HPA (Turbomolecular pompa dan vakum pengukuran termasuk, excl. Pompa kasar)
6. Max. Suhu 1200 ° C
7. kontrol suhu dengan termokopel
pendingin 8. air yang dibutuhkan
9. Listrik: CEE 3x32 A, 230 V, 3 Phase, + N, 20 kW
10. Dimensi: 505 x 504 x 670 mm (W x H x D)
11. Berat: approx. 70 kg
12. Pelayanan yang baik
13. Silahkan email kami untuk lebih jelasnya
14. Cocok untuk laboratorium dan penelitian departemen
【Merek: UNITEMP / GERMAN】