Spezifikation:
1. für einzelne Wafer bis 100 mm (4 ") oder 100 mm x 100 mm Substratgröße
2. mit integriertem Gas und -ablauf
3. 1 Massendurchflussregler für Stickstoff (5 NLM = Norm-Liter pro Minute) ist Standard
4. erhitzt von 18 Infrarotlampen (20 kW)
5. Vakuum bis 10exp-6 hPa (Turbomolekularpumpe und Vakuummessung enthalten, exkl. Vorpumpe)
6. Max. Temperatur 1200 ° C
7. Temperaturregelung durch das Thermoelement
8. Wasserkühlung erforderlich
9. Strom: CEE 3x32 A, 230 V, 3-phasig, + N, 20 kW
10. Dimension: 505 x 504 x 670 mm (B x H x T)
11. Gewicht: ca. 70 kg
12. Guter Service
13. Bitte senden Sie uns für weitere Informationen
14. Geeignet für die Abteilung Labor und Forschung
【Marke: UNITEMP / GERMAN】