Spécification:
1. pour plaquette unique jusqu'à 100 mm (4 ") ou 100 mm x 100 mm taille du substrat
2. avec in- intégrée de gaz et de sortie
3. 1 Régulateur de débit massique pour l'azote (5 nlm = norme litre par minute) est par défaut
4. chauffé par des lampes à infrarouge 18 (20 kW)
5. vide jusqu'à 10exp-6 hPA (pompe et vide mesure turbomoléculaires inclus, excl. Pompe rugueux)
6. Max. température de 1200 ° C
7. Contrôle de la température par thermocouple
refroidissement 8. d'eau nécessaire
9. Électricité: CEE 3x32 A, 230 V, 3 phases, + N, 20 kW
10. Dimension: 505 x 504 x 670 mm (L x H x P)
11. Poids: env. 70 kg
12. Bon service
13. S'il vous plaît nous un courriel pour plus de détails
14. Convient pour le laboratoire et la recherche département
【Marque: Unitemp / ALLEMAND】