Especificação:
1. para um único wafer de até 100 mm (4 ") ou 100 mm x 100 mm tamanho do substrato
2. com entradas de gás integrado e tomada
3. 1 de fluxo de massa Controller para Nitrogênio (5 nlm = norma litro por minuto) é padrão
4. aquecida por lâmpadas de infravermelhos 18 (20 kW)
5. vácuo até 10exp-6 hPa (bomba e vácuo turbomoleculares medição incluídos, excl. Bomba áspero)
6. Max. temperatura de 1200 ° C
7. controlo de temperatura por termopar
refrigeração 8. água necessária
9. A electricidade: CEE 3x32 A, 230 V, 3 fases, + N, 20 kW
10. Dimensão: 505 x 504 x 670 mm (W x H x D)
11. Peso: aprox. 70 kg
12. Bom serviço
13. Por favor envie-nos para mais detalhes
14. Apropriado para o departamento de laboratório e pesquisa
【Marca: UNITEMP / ALEMÃO】