Especificação:
1. câmara de vidro de quartzo com entradas de gás integrado e tomada
2. Aquecimento: com lâmpadas de infravermelho, potência total: 21 kW
área 3. Loading: até o tamanho wafer 156 milímetros
4. Controlador: controlador de processo de temperatura rápido PID
5. 50 programas com 50 passos cada armazenáveis
6. vácuo até 10exp.-6 hPa (bomba de vácuo e turbomoleculares measurment incluídas)
7. Max. Temperatura: 1000 ° C (superior a pedido)
8. Rampa até Classificação: livre programável, max. 75 ° K / seg
9. rampa de desaceleração: T = 1000 ° C até 400 ° C max. 200 K / min
10. T = 400 ° C até 100 ° C máx. 30 K / min.
11. Cooling: Refrigerar de água necessária
12. Bom serviço
13. Por favor envie-nos para mais detalhes
14. Apropriado para o departamento de laboratório e pesquisa
【Marca: UNITEMP / ALEMÃO】