Rapid Thermal Processing System
Item Nr. : | RTP-150-HV (High Vacuum) Front loading |
Detalles del surtidor
Land
: Taiwan
Stad
: Kaohsiung City 802
Adres
: 3F.-2, No.372, Zhongzheng 1st Rd., Lingya Dist.
TEL: +886-7-7225117
Fax
: +886-7-7232465
Online Toonzaal
:
74 Producten
Specificatie:
1. Quartz glazen kamer met geïntegreerde gas in- en uitlaat
2. Verwarming: met infrarood lampen, totaal vermogen: 21 kW
3. Laden: tot 156 mm wafer formaat
4. Controller: fast PID temperatuur proces controller
5. 50's met 50 stappen elk houdbaar
6. Vacuüm tot 10exp.-6 hPa (Turbomoleculaire pomp en vacuüm measurment inbegrepen)
7. Max. Temperatuur: 1000 ° C (hoger op aanvraag)
8. Ramp up rate: vrij programmeerbaar, max. 75 ° K / sec
9. Ramp naar beneden tarief: T = 1000 ° C tot 400 ° C max. 200 K / min
10. T = 400 ° C tot 100 ° C max. 30 K / min.
11. Koeling: Waterkoeling nodig
12. Goede service
13. Mail ons voor meer informatie
14. Geschikt voor het laboratorium en onderzoeksafdeling
【Merk: UNITEMP / Duits】
1. Quartz glazen kamer met geïntegreerde gas in- en uitlaat
2. Verwarming: met infrarood lampen, totaal vermogen: 21 kW
3. Laden: tot 156 mm wafer formaat
4. Controller: fast PID temperatuur proces controller
5. 50's met 50 stappen elk houdbaar
6. Vacuüm tot 10exp.-6 hPa (Turbomoleculaire pomp en vacuüm measurment inbegrepen)
7. Max. Temperatuur: 1000 ° C (hoger op aanvraag)
8. Ramp up rate: vrij programmeerbaar, max. 75 ° K / sec
9. Ramp naar beneden tarief: T = 1000 ° C tot 400 ° C max. 200 K / min
10. T = 400 ° C tot 100 ° C max. 30 K / min.
11. Koeling: Waterkoeling nodig
12. Goede service
13. Mail ons voor meer informatie
14. Geschikt voor het laboratorium en onderzoeksafdeling
【Merk: UNITEMP / Duits】