Spezifikation:
1. Quarzglaskammer mit integriertem Gas und -ablauf
2. Heizung: mit Infrarotlampen, Gesamtleistung: 21 kW
3. Laden Bereich: bis zu 156 mm Wafergröße
4. Controller: schnelle PID-Temperaturprozesssteuerung
5. 50 Programme mit 50 Schritten jeweils speicherbaren
6. Vakuum bis 10exp.-6 hPa (Turbomolekularpumpe und Vakuummessung im Lieferumfang enthalten)
7. Max. Temperatur: 1000 ° C (höher auf Anfrage)
8. Steigerungsrate: frei programmierbar, max. 75 ° K / s
9. Rampe ab Rate: T = 1000 ° C bis 400 ° C max. 200 K / min
10. T = 400 ° C bis 100 ° C max. 30 K / min.
11. Kühlung: Wasserkühlung erforderlich
12. Guter Service
13. Bitte senden Sie uns für weitere Informationen
14. Geeignet für die Abteilung Labor und Forschung
【Marke: UNITEMP / GERMAN】