Specifica:
1. Camera di vetro al quarzo con in- gas integrato e uscita
2. Riscaldamento: con infrarossi lampade, potenza totale: 21 kW
3. Caricamento zona: fino a 156 mm Larghezza del wafer
4. Controller: controllore di processo di temperatura veloce PID
5. 50 programmi con 50 passi ciascuno memorizzabili
6. vuoto fino a 10exp.-6 hPa (turbomolecolari pompa e del vuoto measurment inclusa)
7. Max. Temperatura: 1000 ° C (superiore a richiesta)
8. Rampa rate: libera programmabile, max. 75 ° K / sec
9. Rampa giù rate: T = 1000 ° C fino a 400 ° C max. 200 K / min
10. T = 400 ° C fino a 100 ° C max. 30 K / min.
11. Raffreddamento: Raffreddamento ad acqua necessaria
12. Un buon servizio
13. Si prega di mail per ulteriori dettagli
14. Adatto per laboratorio e di ricerca reparto
【Marca: UNITEMP / TEDESCO】