Une méthode de fabriquer des cibles de siliciure en métal ou des cibles d'alliage pour l'usage de pulvérisation comporte les étapes (a) alliant mécaniquement du silicium et d'un métal pour fournir une poudre de siliciure en métal ou alliant mécaniquement le silicium et une pluralité de poudres en métal pour fournir une poudre d'alliage, (b) et serrant alors la poudre de siliciure en métal ou la poudre d'alliage. L'invention se relie également aux cibles de siliciure en métal ou l'alliage vise si manufacturé. Dans l'étape de alliage mécanique, la division rapide et fine et l'agglomération de la poudre mélangée est répétée jusqu'à ce que les particules des poudres matérielles soient finement divisées à un niveau submicronique. Elle forme des dizaines d'agrégats de microns de diamètre. Les agrégats prennent graduellement une forme equi-diminuée. L'homogénéisation du mélange matériel de poudre progresse au mélange au niveau atomique, jusqu'à ce que l'alliage ait lieu.

Spécifications de personnalisation
Spécifications :
Pureté : 99.995%
Densité : 8.908g/cm3
Point de fusion :1,455°C
Application : Matériel de film